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智能動態配氣儀
【產品簡介】標配2路通道、讀數精度士0.8%、稀釋比1000:1、重復性<士0.2%FS
19157135090 產品詳情
一、氣體動態稀釋儀特點
高精度、高分辨率控制
低功率（功率大小取決于配氣路數）
各路 MFC 集成 20 種基礎氣體種類
各路 MFC 可自定義 10 種混合氣體（20 種基礎氣體種類按比例混合）
數字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式
寬流量量程范圍
無需預熱
無安裝方向限制
具有高重復性和高可靠性
采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快
自帶溫度補償，補償范圍 0-50℃
內部閉環控制，具有高穩定性
小封裝尺寸
二、量程及精度簡介
稀釋比：最高 1000:1（更高稀釋比建議咨詢廠家）
各路 MFC 滿量程精度：±0.2%
各路 MFC 讀取精度：±0.8%
各路 MFC 可重復性：±0.2%FS
各路 MFC 響應時間：＜100ms（調節 PID控制參數可縮短響應時間），數字式設計簡介
動態稀釋儀內部配置了高精度質 量流量控制器（MFC），各路 MFC 標配高精度傳
感器和數字電路，數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。質量流量控制器采用標準的RS-485 Modbus RTU 通信模式。
三、應用領域
氣相和液相色譜儀
半導體工藝
環境監測設備
微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD）
氣體發生器
配氣混氣系
四、功能介紹
流量控制 ---可實現高精度、高重復性、多種氣體質量流量控制。
獨立使用 ---無需連接任何設備，可通過屏幕完成大部分功能操作。
多種量程選擇 ---根據稀釋比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm，最大量程 50slpm 可選。
內置 20 種基本氣體 ---各路 MFC 內置 20 種基本氣體，氣體種類可定制。
10 種自定義混合氣 ---各路 MFC 可根據使用需求，自定義混合氣。
電氣接口 ---標準配置 1 個 AC220V 三項插座
控制方式 ---屏幕使用 RS-485 通信與內部 MFC 進行通信。
標準 Modbus-RTU ---RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協議。
五、技術參數
1.運行參數
各路 MFC 讀數精度 ±0.8% Rdg
各路 MFC 滿量程精度 ±0.2% FS
各路 MFC 重復性 ＜±0.2% FS
各路 MFC 零點漂移和滿量程漂移 ＜±0.02% FS/℃/Atm
稀釋比 1000:1
各路 MFC 典型響應時間 ＜100 毫秒（可調節 PID 參數達到更短時間）
各路 MFC 啟動預熱時間 ＜1 秒
各路 MFC 標準工況 20℃&101.325kPa（標準工況溫度可通過 RS485 調整）
各路耐壓 1 MPa
安裝方向要求 無
電氣參數 工作電壓 AC 220V±15%
功率 取決于配氣儀路數
數字控制信號 RS-485 Modbus-RTU
電信號接口 AC220V 三項插座
2.物理參數
各路 MFC 閥門 比例閥（常閉）
各路 MFC 通過介質 干燥氣體
各路 MFC 工作溫度 0-50℃
各路 MFC 傳感器溫度補償范圍 0-50℃
各路 MFC 工作濕度 0-100%（非冷凝）
存儲溫度 -40~85℃
各路 MFC 泄漏率 ＜0.020sccm He (壓差 150psi)
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